Chip cedere in chip fabricandi industriam propinqua magnitudine et numero particularum aeris in chip deposita.Organizationis fluxus aeris bonus fieri potest, ut particulas ex pulvere generatas e fontibus e camera munda tollere et munditiam munditiae curare possit.Hoc est, organizatio caeli in cleanroom agit munus vitale in cede productionis chippis.Metae fiendae in consilio mundi cubiculi aeris fluxi organizationis sunt: fluxus in campum tortum reducere vel tollere, ad retentionem particularum nocivarum vitare;ponere convenientem positivum pressura cliuos ne crucis-contaminationem.
Secundum principium purum cubiculi, vires in particulas agentes includunt vim massam, vim hypotheticam, attractionem inter particulas, vim aeris fluunt, etc.
Vis airflow: refert vim aeris fluxus ex copia et reditus aeris fluxus, convectionum aeris fluxus, agitatio artificialis, et alia airfluvia cum aliqua rate fluunt ad portandum particulas.Nam mundus locus environmental technologiae imperium, vis aeris fluxus est maximi momenti.
Experimenta docuerunt in motu airfluentis, particulas fluxum eodem fere velocitate sequi.Conditio particularum in aere per distributionem airflow determinatur.Praecipui effectus airflui in particulis tectis includunt: aeris copia profluvium aeris (incluso airflus primarium et secundarium airfluvium), airfluvium et convectionum aeris in ambulatione thermarum causatur, et impetus aeris in particulis quae fiunt per operationes processus et apparatum industriae.Diversae aeris rationes suppeditant, celeritas interfaces, operatoria et instrumenta industriae, phaenomena inducenda, etc. in cleanrooms sunt omnes factores quae planitiem munditiam afficiunt.
1. Influentia aeris copiam modum
(I) Aeris copiam celeritas
Ut cursus uniformis aeris fluat, aer copiam celeritatis in unidirectionali fluxu puro cubiculi uniformi esse debet;zona mortua super superficiem aeris parva copia esse debet;et pressionis intra hepa sparguntur uniformis quoque esse debet.
Aer copiam celeritatis est uniformis: hoc est, inaequalitas aeris fluens intra ± 20% refrenatur.
Minus spatium mortuum in superficie aeris supplendum est: non solum planum hepa artus minui debet, sed potius modulari FFU ad fabricam redundantem simpliciorem reddendam esse.
Ut fluit aer verticalis et unidirectionalis, pressionis stilla electio colum magni momenti est, et requiritur ut pressurae iacturae intra colum plicari non possit.
(2) Comparatio systematis FFU et fluxus axialis systematis fan
FFU est copia aeris unitas cum flabello et hepa sparguntur.Aer a ventilabro centrifugae FFU hauritur et dynamicam pressionem in pressionem aeris in ductus aere convertit.Eliditur aequaliter per hepa Colum.Copia aeris pressionis in laquearia pressa negativa est.Hoc modo nullus pulvis diffluet in cubiculum mundum cum colum reponat.Experimenta demonstraverunt systema FFU praestantiorem esse systema axialem fluens ventilabrum in terminis aeris diffluenti uniformitatem, aerem parallelismum fluere ac VENTILATIONIS efficientiam indicem.Hoc est, quia melior est ratio parallelismus caeli FFU fluere.Usus systematis FFU potest emendare ordinationem aeris in camera munda.
(III) Influence FFU structurae propriae
FFU maxime componitur ex fans, filters, aerem fluunt duces et alia elementa.Hepa colum maxima est cautio pro cella munda ad munditiem quae consilio requiritur ad consequendam debitam.Materia colum etiam afficit campum fluentis uniformitatem.Cum materia sparguntur vel bracteae colum ad exitum colum additur, exitus campi fluens facile uniformis fieri potest.
2. Impact celeritas interface cum alia munditia
In eodem camera munda, inter aream operariam et aream non-operationem cum fluunt unidirectionali verticali, propter differentiam celeritatis aeris in capsa hepa, mixtus vortex effectus occurret in interfacie, et haec interfacies turbulenta fiet. zona airflow.Intensio aeris vehementia maxime vehemens est, et particulae in apparatum apparatus transferri possunt et apparatum et lagana contaminent.
3. Impact in virgam et apparatu
Cum locus mundus vacuus est, notae aeris fluunt in cella plerumque ad consilium requisita.Cum apparatum intrat emundationem, homines moventur et producta portantur, inevitabiliter impedimenta sunt in organisationis aeris fluentis, sicut puncta acuta ex machina apparatus extrahentes.In angulis vel marginibus gas in area fluxum turbulentum convertet ad formandum, et fluidus in area non facile ab gas advenientibus auferetur, ita pollutione faciente.
Eodem tempore superficies instrumentorum mechanicorum propter continuam operationem calefit, et clivus temperatus refluxus aream machinae proximam faciet, quae coacervationem particularum in area refluentis auget.Eodem tempore caliditas particulas facile effugiet.Effectus dualis auget altiore strato verticali.Fluminis difficultas temperandi munditia.Pulvis ab operariis in cella munda facile lagana in his locis refluentibus adhaerere potest.
4. Influentia reditus caeli area
Cum resistentia reditus aeris transiens per aream alia est, fiet diversitas pressurarum, causans aerem fluere in directione parvae resistentiae, nec obtinebitur aer fluens uniformis.Hodierna popularis ratio methodus area edito utatur.Cum aperitur ratio pavimenti elevati ad 10%, velocitas aeris fluens aequabiliter distribui potest ad altitudinem operantem tectis.Praeterea diligenter attendendum est ad purgandum laborem reducere fontem pollutionis nocturnae in area.
5. Induction phaenomenon
Inductione sic dicta phaenomenon refert ad phaenomenon aeris fluxum generandi in contrariam partem fluere uniformem, inducendo pulverem generatum in cella vel pulverem in locis contaminatis adiacentibus lateri superiori, ut pulvis laganum contaminet.Fieri potest, ut phaenomena inducantur quae sequuntur:
(I) cæcus laminam
In cella mundissima cum uno modo verticali fluunt, propter articulos in pariete, plerumque magnae tabulae caecae sunt quae turbulentum fluxum et recessum localem facient.
(2) Lamps
Accensa adfixa in cella munda maiorem momenti habebunt.Cum calor lampadis fluorescentis oriri facit ut editi, lampas fluorescens non fiet area turbulenta.Fere lampades in cella mundissima designantur in teardropae figurae ad reducendum ictum lampadum in organisationis airfluentis.
(III) hiatus inter muros
Cum inter parietes vel lacunaria saepta inter saepta sunt diversa munditia requisita, pulvis ex locis humilibus munditiae requisitis transferri potest ad regiones vicinas cum magna munditia requisita.
(IV) De distantia inter apparatum mechanicum et pavimentum vel murum
Si intervallum inter apparatum mechanicum et pavimentum vel murum exiguum est, repercussio turbulenta fiet.Ergo relinque distantiam inter apparatum et parietem et suggestum machinae attolle ne directus cum terra attingat.
Post tempus: Nov-02-2023